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工業(yè)型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM◆ 實(shí)現(xiàn)樣品保持不動(dòng),探針移動(dòng)掃描的原子力顯微鏡;◆ 采用閉環(huán)三軸獨(dú)立壓電平移式掃描器,大范圍高精度掃描;◆ 樣品尺寸、重量基本不受限制,特別適合集成電路晶圓等超大樣品檢測(cè);◆ 龍門架式掃描頭設(shè)計(jì),大理石底座,真空吸附式載物臺(tái);◆ 超大行程二維電動(dòng)樣品移動(dòng)臺(tái),快速選擇感興趣的樣品區(qū)域;◆ 高倍光學(xué)定位系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)探針
FM-Nanoview LS- AFM工業(yè)型原子力顯微鏡
工業(yè)型原子力顯微鏡(FM-Nanoview LS- AFM),樣品尺寸、重量幾乎不受限制,特別適合晶圓片、超大光柵及光學(xué)玻璃等大樣品檢測(cè)。
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原子力顯微鏡價(jià)格◆ 激光檢測(cè)頭和樣品掃描臺(tái)集成一體,穩(wěn)定可靠;◆ 精密激光及探針定位裝置,更換探針及調(diào)節(jié)光斑簡(jiǎn)單方便;◆ 單軸驅(qū)動(dòng)樣品自動(dòng)垂直接近探針,準(zhǔn)確定位掃描區(qū)域,使針尖垂直于樣品掃描;◆ 馬達(dá)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測(cè)的智能進(jìn)針?lè)绞剑Wo(hù)探針及樣品;◆ 4X物鏡光學(xué)定位,無(wú)需調(diào)焦,實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針樣品掃描區(qū)域;◆ 彈簧懸掛式防震方式,簡(jiǎn)單實(shí)用,防震效果好;◆ 金屬屏蔽隔音箱,
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